由于單晶金剛石本身的物理特性，切削時不易黏刀及產生積屑瘤，加工表面質量好，加工有色金屬時，表面粗糙度可達Rz0.1～0.05μm。金剛石還能有效地加工非鐵金屬材料和非金屬材料，如銅、鋁等有色金屬及其合金、陶瓷、未燒結硬質合金、各種纖維和顆粒加強復合材料、塑料、橡膠、石墨、玻璃和各種耐磨木材(尤其是實心木和膠合板、MDF等復合材料)。
超精密加工中，單晶金剛石刀具的兩個基本精度是刀刃輪廓精度和刃口的鈍圓半徑。要求加工非球面透鏡用的圓弧刀具刃口的圓度為0.05μm以下,加工多面體反射鏡用的刀刃直線度為0.02μm；刀具刃口的鈍圓半徑(ρ值)表示了刀具刃口的鋒利程度，為了適應各種加工要求，刀刃刃口半徑范圍從20nm～1μm。
單晶金剛石刀具的晶面選擇
金剛石晶體屬于平面立方晶系，由于每個晶面上原子排列形式和原子密度的不同以及晶面之間距離的不同，造成天然金剛石晶體的各向異性，因此金剛石不僅各晶面表現的物理機械性能不同、其制造難易程度和使用壽命都不相同，各晶面的微觀破損強度也有明顯差別。金剛石晶體的微觀強度可用Hertz試驗法來測定，由于金剛石是典型的脆性材料，其強度數值一般偏差較大，主要依賴于應力分布的形態和分布范圍，因此適合用概率論來分析。當作用應力相同時，(110)晶面的破損概率最大，(111)晶面次之，(100)晶面產生破損的概率最小。即在外力作用下，(110)晶面最易破損，(111)晶面次之，(100)最不易破損。盡管(110)晶面的磨削率高于(100)晶面，但實驗結果表明，(100)晶面較其它晶面具有更高的抗應力、腐蝕和熱退化能力。結合微觀強度綜合考慮，用(100)面做刀具的前后刀面，容易刃磨出高質量的刀具刃口，不易產生微觀崩刃。
通常應根據刀具的要求來進行單晶金剛石刀具的晶面選擇。一般來說，如果要求金剛石刀具獲得最高的強度，應選用(100)晶面作為刀具的前、后刀面；如果要求金剛石刀具抗機械磨損，則選用(110)晶面作為刀具的前、后刀面；如果要求金剛石刀具抗化學磨損，則宜采用(110)晶面作刀具的前刀面，(100)晶面作后刀面，或者前、后刀面都采用(100)晶面。這些要求都需要借助晶體定向技術來實現。
